PicoFemto透射電鏡原位MEMS低溫電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)

澤攸透射電鏡原位MEMS低溫電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)，是在標(biāo)配MEMS芯片樣品桿上集成低溫控制模塊，實(shí)現(xiàn)低溫電學(xué)測(cè)量或全溫區(qū)測(cè)量功能。

性能指標(biāo)：

1.透射電子顯微鏡指標(biāo)：

（1）兼容指*型號(hào)電鏡及極靴；

（2）單傾可選高傾角版本；

（3）可選雙傾版本，β角傾轉(zhuǎn)±25°（同時(shí)受限于極靴）；

（4）測(cè)量電極數(shù)可選。

2.電學(xué)測(cè)量指標(biāo)：

（1）包含一個(gè)電流電壓測(cè)試單元；

（2）電壓輸出最大±200 V，最小±100 nV；

（3）電流測(cè)量最大±1.5 A，最小100 fA；

（4）恒壓或者恒流模式；

（5）自動(dòng)電流-電壓（I-V）測(cè)量、電流-時(shí)間（I-t）測(cè)量，自動(dòng)保存。

3.低溫指標(biāo)：

（1）兼容MEMS加熱及電學(xué)芯片；

（2）全溫區(qū)測(cè)量，溫度范圍：85 K- 380 K；

（3）控溫穩(wěn)定性：優(yōu)于±0.1 K；

（4）溫度連續(xù)可控。