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一、鄰近效應：微納加工的“隱形殺手當電子束穿透光刻膠時，會與材料發(fā)生復雜相互作用：一部分電子前向散射，另一部分被襯底反彈形成背散射電子。這些“不聽話”的電子會擴散到預設圖形區(qū)域之外，就像墨水在宣紙上暈染開一般，造成中心區(qū)域欠曝、邊緣過曝的現(xiàn)象。從澤攸科技的實驗數(shù)據(jù)可見（圖2）未校正時，同一芯片上不同區(qū)域的線寬差異可達30%以上。二、劑量校正技術：給電子束裝上“導航系統(tǒng)”傳統(tǒng)解決方式如同“盲人摸象”，而澤攸科技采用的智能劑量校正方案實現(xiàn)了三大創(chuàng)新：1.雙高斯建模：通過α（前散射...

在材料科學、生物醫(yī)學及半導體制造等領域，對樣品內部結構的精準觀測是推動技術突破的核心環(huán)節(jié)。然而，傳統(tǒng)切片機常因振動干擾、厚度偏差等問題，導致樣品邊緣碎裂、層間剝離或成像模糊，嚴重制約研究效率。RMC半薄切片機憑借其亞微米級精度控制與智能化操作體系，成為制備高質量薄片樣品的革命性工具，為透射電鏡（TEM）、原子力顯微鏡（AFM）等高級分析技術提供了可靠保障。1.動態(tài)振動補償技術：突破厚度極限的“穩(wěn)定器”傳統(tǒng)切片機在高速切削時，刀片與樣品間的微小振動會引發(fā)“厚度波動效應”，導致薄...

一、ZYGO共聚焦干涉儀技術突破：從實驗室精度到工業(yè)環(huán)境適應性抗振與動態(tài)測量能力傳統(tǒng)干涉儀對環(huán)境振動極為敏感，需在恒溫、隔振實驗室中運行。ZYGO通過QPSI™(快速相位偏移干涉)技術，結合波長調制采樣方式，使共聚焦干涉儀在振動環(huán)境下仍能保持高精度測量。例如，其300mm立式球面干涉儀(VWS)在生產環(huán)境中實現(xiàn)RMS波前重復性優(yōu)于1納米，曲率半徑測試不確定度達百納米級，突破了實驗室級儀器對環(huán)境的嚴苛依賴。大口徑與復雜曲面測量針對工業(yè)大尺寸元件(如光刻物鏡透鏡)，Z...

一為什么EUV離不開EBL？很多人會疑惑：既然EUV已經能高效量產先進芯片，為什么還要投入精力研發(fā)電子束光刻？答案藏在兩者的“分工”里。EUV追求的是“批量生產的經濟性”，就像印刷廠的大型設備，能快速復制已有的設計；而EBL解決的是“從0到1的可行性”，如同作家的鋼筆，負責創(chuàng)造全新的“故事”沒有EBL，EUV的掩模版無從談起——這種高精度的“模具”是芯片量產的基礎，必須依靠電子束光刻的納米級分辨率（可達2nm）來制作。更重要的是，在3nm以下制程研發(fā)、量子計算、二維材料等前沿...

在科技日新月異的今天，白光干涉共聚焦顯微鏡作為光學顯微技術領域的一顆璀璨明珠，正以其特殊的成像原理和杰出的性能，推動著微觀世界探索的新風潮。它不僅極大地提升了我們對材料表面形貌、薄膜厚度、粗糙度等微觀特性的認知能力，還在半導體、生物醫(yī)學、材料科學等多個領域展現(xiàn)出廣泛的應用潛力。白光干涉共聚焦顯微鏡的核心優(yōu)勢在于其結合了白光干涉與共聚焦掃描兩大技術。白光干涉技術利用光波的干涉原理，通過測量樣品表面反射光與參考光之間的光程差，精確重構出樣品表面的三維形貌。這種技術具有非接觸、無損...

為什么微觀觀察是污染研究的“第一道門”？微橡膠顆粒的環(huán)境危害，與其微觀形貌、表面特性、粒徑分布密切相關：粗糙的表面更容易吸附重金屬和有機污染物，細小的粒徑則能穿透生物屏障進入細胞。但這些顆粒直徑多在1-500微米之間，遠超光學顯微鏡的分辨極限，傳統(tǒng)檢測手段難以捕捉關鍵細節(jié)。澤攸科技ZEM系列臺式掃描電鏡的出現(xiàn)，為研究者打開了微觀觀察的“快速通道”。無需復雜樣品制備，即可實現(xiàn)納米級分辨率成像，讓微橡膠顆粒的真實面貌清晰呈現(xiàn)——這正是青島科技大學等團隊在TWP與LAP毒性對比研究...

在科研領域，顯微鏡就像科學家的“火眼金睛”，幫我們看清微觀世界的奧秘。而電子源，就是這雙眼睛的“光源”，其性能直接決定了觀測的精度和效率。最近，由北京大學等團隊聯(lián)合研發(fā)的“光纖集成石墨烯超快電子源”登上了《NatureCommunications》，用創(chuàng)新設計打破了傳統(tǒng)電子源的諸多限制，而澤攸科技的ZEM系列臺式掃描電鏡，更是為這項研究提供了關鍵助力傳統(tǒng)電子源的“老大難”：效率低還“嬌氣”提到電子源，你可能會覺得陌生，但它卻是真空電子技術的核心。無論是高精度的時間分辨成像，還...

在納米材料研發(fā)、先進儲能器件優(yōu)化及半導體制造等領域，材料在服役環(huán)境中的動態(tài)行為研究至關重要。北京儀光憑借澤攸SEM/TEM原位分析系統(tǒng)，突破了傳統(tǒng)靜態(tài)表征的局限，為科學家提供了實時觀測材料微觀結構演變的“納米級顯微鏡”，成為推動材料科學突破的關鍵工具。1.原位SEM：動態(tài)形變與失效機制的“現(xiàn)場直播”ZEM系列臺式掃描電鏡搭載的原位拉伸/壓縮模塊，可在真空或可控氣氛環(huán)境中對金屬、陶瓷、高分子材料進行納米級精度的力學加載。例如，在鋰離子電池隔膜研究中，通過原位SEM可實時觀察隔膜...