白光干涉儀S neox的5軸測量意義

產(chǎn)品簡介

白光干涉儀S neox的5軸測量意義：Sensofar S neox的5軸測量系統(tǒng)通過傾斜與旋轉(zhuǎn)樣品臺，使復(fù)雜表面的目標區(qū)域始終垂直對焦，實現(xiàn)對傾斜面、側(cè)壁等特征的精確三維形貌測量。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-11-18

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白光干涉儀S neox的5軸測量意義

在三維表面測量中，一個常見的挑戰(zhàn)是如何精確測量具有復(fù)雜幾何形狀的樣品，例如傾斜的平面、柱狀體的側(cè)面或球面的特定區(qū)域。傳統(tǒng)的三軸（X, Y, Z）測量系統(tǒng)在測量這些非水平表面時，可能因樣品表面與物鏡光軸不垂直而導(dǎo)致信號質(zhì)量下降或無法測量。Sensofar S neox提供的5軸測量能力，為應(yīng)對這一挑戰(zhàn)提供了更多靈活性。

5軸系統(tǒng)通常指三個線性軸（X, Y, Z）和兩個旋轉(zhuǎn)軸（傾斜和旋轉(zhuǎn)）。S neox的集成式5軸系統(tǒng)允許樣品臺不僅能在平面內(nèi)移動和垂直掃描，還能進行精密的傾斜和旋轉(zhuǎn)調(diào)整。

這種設(shè)計的直接好處是，用戶可以通過調(diào)整樣品的傾斜和旋轉(zhuǎn)角度，使待測的復(fù)雜表面區(qū)域與物鏡的光軸保持垂直。例如，在測量一個微切削工具的刃口時，可以通過傾斜樣品臺，將刃口的一個特定斜面調(diào)整到最佳測量位置。這對于獲取陡峭側(cè)壁的完整、準確形貌信息尤為重要，因為垂直入射的光線能獲得的信號和最高的分辨率。

此外，5軸系統(tǒng)便于多視角測量。對于某些具有遮擋或深孔的結(jié)構(gòu)，從一個角度可能無法觀測到全部特征。通過旋轉(zhuǎn)樣品，可以從不同角度進行測量，然后利用軟件將多個視角的數(shù)據(jù)融合，生成更完整的三維模型。

在自動化測量中，5軸聯(lián)動也提升了效率。可以預(yù)先設(shè)定好程序，讓儀器在測量不同特征時自動將樣品調(diào)整到最佳角度，無需手動重新裝夾，保證了測量位置的可重復(fù)性和數(shù)據(jù)的準確性。

因此，Sensofar S neox的5軸測量能力，擴展了白光干涉儀對復(fù)雜幾何形狀樣品的測量適應(yīng)性，使對傾斜面、側(cè)壁等特征的精確、重復(fù)性測量變得更加可行。

白光干涉儀S neox的5軸測量意義

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