Sensofar顯微鏡：創(chuàng)新技術(shù)測量新潮流

在微觀測量領(lǐng)域，技術(shù)的不斷創(chuàng)新是推動(dòng)行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵。Sensofar白光干涉共聚焦顯微鏡憑借其創(chuàng)新性的技術(shù)融合，測量新潮流。

這款顯微鏡的創(chuàng)新之處在于將共聚焦顯微鏡、白光干涉儀和多焦面疊加技術(shù)集成于一體。共聚焦技術(shù)通過逐層掃描成像的方式，有效抑制了雜散光的干擾，提高了圖像的對(duì)比度和清晰度。它能夠提供高橫向分辨率的影像效果，在測量復(fù)雜微觀形貌時(shí)，可以清晰地分辨出樣品表面微小的特征結(jié)構(gòu)。例如在半導(dǎo)體制造中，對(duì)于光刻膠結(jié)構(gòu)的側(cè)壁粗糙度測量，共聚焦模式能夠準(zhǔn)確捕捉到細(xì)微的變化，為工藝控制提供重要依據(jù)。

白光干涉技術(shù)則帶來了納米級(jí)的縱向分辨率。白光包含了較寬的光譜范圍，在不同波長下都能獲取干涉信號(hào)，這使得它在測量各種表面高度形貌時(shí)具有很高的準(zhǔn)確性和可靠性。無論是超光滑的光學(xué)鏡片表面，還是具有一定粗糙度的金屬表面，白光干涉模式都能進(jìn)行精準(zhǔn)測量。在光學(xué)元件檢測中，它可以檢測出表面極其細(xì)微的瑕疵，如劃痕、凹坑等，確保光學(xué)元件的質(zhì)量。

多焦面疊加技術(shù)是對(duì)前兩者的有力補(bǔ)充。對(duì)于一些極粗糙的表面，如大型工件的模具，傳統(tǒng)的測量方式可能無法完整獲取其三維形貌。而多焦面疊加技術(shù)通過快速掃描大范圍區(qū)域，并將不同焦面的圖像進(jìn)行拼接，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)粗糙表面的完整測量。該技術(shù)掃描速度快，且支持大斜率表面的測量，在模具加工、地質(zhì)樣品分析等領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用價(jià)值。

除了技術(shù)融合的創(chuàng)新，Sensofar顯微鏡在操作體驗(yàn)方面也有創(chuàng)新設(shè)計(jì)。其智能光學(xué)切換系統(tǒng)能夠根據(jù)樣品特性自動(dòng)選擇合適的測量模式，無需人工干預(yù)。這使得操作人員無需具備專業(yè)的技術(shù)知識(shí)，經(jīng)過簡單培訓(xùn)就能輕松上手，大大提高了檢測效率。

在軟件方面，配備的SensoMAP高級(jí)分析軟件功能豐富。它不僅支持3D形貌重建、自動(dòng)缺陷檢測和多參數(shù)統(tǒng)計(jì)等基本功能，還具有直觀的操作界面。用戶可以方便地進(jìn)行數(shù)據(jù)分析和處理，生成專業(yè)的報(bào)告。而且，該軟件還支持與其他設(shè)備的數(shù)據(jù)對(duì)接和共享，為企業(yè)的信息化管理提供了便利。

Sensofar白光干涉共聚焦顯微鏡以其創(chuàng)新性的技術(shù)融合和人性化的設(shè)計(jì)，為微觀測量領(lǐng)域帶來了新的活力和發(fā)展機(jī)遇，推動(dòng)著行業(yè)測量技術(shù)不斷向前發(fā)展。

Sensofar顯微鏡：創(chuàng)新技術(shù)測量新潮流