主動照明多焦面疊加是一種為了測量粗糙的表面形狀而開發(fā)的光學技術(shù)。這項技術(shù)基于 Sensofar 在共聚焦和干涉 3D 測量領(lǐng)域的廣泛專業(yè)知識，專門設(shè)計用于補充低放大率下的測量。

BACKGROUND

多焦面疊加原理

主動照明多焦面疊加技術(shù)利用了明場中存在景深的特點，樣品只有在的特定 z 范圍中對焦。 景深會根據(jù)物鏡的數(shù)值孔徑或光源波長而變化。 Z 高度的值是根據(jù)圖像的高對比度（清晰度或微小細節(jié)）來計算的，從而得出正確的對焦位置。

光學技術(shù)

我們的光學技術(shù)是通過專*的microdisplay來實現(xiàn)，光線會從光源 (LED) 發(fā)出，同時穿過microdisplay上陣列排布的光學元件，反射到達相機。 在這種情況下，microdisplay就像一面鏡子（100% 反射率）。 這種光學技術(shù)就像一個標準的視頻顯微鏡。 通過執(zhí)行垂直掃描，可以在每個平面上捕獲明場圖像。

專*算法

克服多焦面疊加的限制

在較為光滑的表面上，對焦時會無法獲得足夠的信號來識別正確的焦點位置。 這通常是因為在光滑表面的上，會出現(xiàn) 3D 雜訊。 Sensofar 使用主動照明進行了改進，現(xiàn)在通過microdisplay 投射出人造紋理（棋盤圖案），即使在光滑表面上因為對比度差而在對焦時無法提供足夠的信號，也能獲得更可靠的對焦位置。

主要特點

該技術(shù)的亮點包括高斜率表面(高達 86o),掃描速度(3 mm/s）和較大的垂直范圍測量。

在散射表面上測量可達 86o 的斜率支援

主動照明允許在光滑表面上進行測量 

快速掃描，3 秒內(nèi)拍攝200張圖像 

多個光源